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2026

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镜片镀膜厚度 偏移，白光干涉仪核验光学镀膜制程

光学镜片（Optical Lens）镀膜制程中，镀膜厚度（Coating Thickness）是决定膜系光学性能的核心参数。物理气相沉积（PVD）、磁控溅射等工艺...

05

2026

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08

基于光学轮廓测量的加氢密封件平面度热变形研究

高压加氢反应器（High-pressure Hydrogenation Reactor）是石化加氢工艺核心承压设备，其密封件（Sealing Component）...

05

2026

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08

超光滑表面（Ultra-smooth Surface） 微纳...

摘要超光滑表面广泛应用于半导体、精密光学、微机电系统（Micro-Electro-Mechanical System, MEMS）器件制造领域，抛光、镀膜制程易产...

04

2026

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08

基于白光干涉仪的晶圆表面粗糙度及加工工艺检测分析

一、技术概述半导体超光滑晶圆构件是高端芯片、精密光学、激光系统的核心基础元件，其CMP抛光、研磨等工序易产生纳米级划痕、局部凹陷、颗粒凸起、面形畸变等微观缺陷。传...

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